나유타 청주공장의 글라스 캐리어 웨이퍼 검사장비. HBM 반도체 글라스 캐리어 웨이퍼 전용 검사장비 국내 최초로 개발 두께·휨·투과율 등 한 번에 검사 표면 이물질은 최소 1㎛까지 검출 인공지능(AI) 반도체 수요가 급증하면서 고대역폭 메모리(HBM)가 메모리 시장의 중심으로 떠올랐다. HBM은 D램을 수직으로 쌓아 만드는데, 얇게 깎인 웨이퍼가 휘거나 깨지지 않도록 공정 내내 붙잡아 주는 부품이 ‘글라스 캐리어 웨이퍼’다. 공정이 끝나면 떼어내 세정·재생한 뒤 다시 쓴다. 문제는 검사다. 기존 웨이퍼 검사 장비는 빛이 통과하지 않는 실리콘(Si) 표면을 전제로 설계돼, 빛이 그대로 투과하는 유리 웨이퍼에서는 미세 결함을 잡아내기 어려웠다. 국내 업계가 투명 소재용 검사 장비를 수입에 의존해 온 배경이다. 충북 청주시에 소재한 300mm 글라스 캐리어 웨이퍼 재생 전문기업 나유타(대표 방상규)가 이 난제를 풀었다. 나유타는 재생 가공부터 정밀검사, 출하까지 전 공정을 자체 기술로 수행한다. 꽁머니릴게임 이 회사가 개발한 ‘듀얼 방식 다기능 웨이퍼 검사 시스템’은 올해 한국일보 특허대상을 받았다. 2025년 혁신특허 기술대상에 이은 2년 연속 수상이다. 이 시스템은 국내 최초의 300mm 글라스 웨이퍼 전용 검사 장비다. 유리의 광학 특성에 맞춰 두 가지 검사 방식을 한 장비에 결합했다. 두께와 TTV(Total Thickness Variation, 총두께편차), 휨, 투과율, 크랙, 스크래치, 치핑 등을 정밀 측정하고 표면 이물질은 최소 1㎛(마이크로미터) 크기까지 검출한다. 여기에 AI 이미지 분석을 더했다. 검사에서 확보한 이미지를 AI가 분석해 결함의 불량 여부와 유형을 자동 판정한다. 사람의 눈에 기대던 판정을 자동화하면서 정확도와 재현성이 높아졌다. 국산화 성과는 검사 장비에 그치지 않는다. 유리 웨이퍼 표면의 오염을 제거하는 대용량 플라즈마 세정 장비로 한 번에 처리하는 물량을 늘렸고, 레이저를 정밀 제어해 특정 이물질만 골라 제거하는 레이저 빔 트리밍 장비도 자체 확보했다 바다이야기게임다운 . 맞춤형 반도체 장비 제작과 중고 장비를 신품 수준으로 되살리는 리퍼비시 사업, 질화갈륨(GaN) 기반 화합물 반도체 청색, 녹색, 노란색, 호박색 단일 파장 LED 에피 웨이퍼, 청색/녹색, 청색/노란색, 청색/호박색 2개의 파장을 동시에 구현할 수 있는 V-pit 터널 접합 적층형 LED 에피 웨이퍼 및 차별화된 새로운 구조의 RF HEMT 에피 웨이퍼 공급도 함께 하고 있다. 글라스 캐리어 웨이퍼는 단가가 높아 재생 여부가 곧 원가로 직결된다. 재생 공정은 수입 신품을 대체해 비용을 낮추면서 폐기물도 줄이는 자원순환형 공정이다. 올해 나유타가 가장 힘을 싣는 쪽은 투명 소재 검사·계측 장비의 본격 상용화다. 반도체·디스플레이 공정에서 유리와 석영, 사파이어 사용이 늘고 국산 검사장비는 아직 드물어 자체 광학계측 알고리즘과 고정밀 스테이지 기술로 수입 대체와 해외 진출을 함께 노린다. 나유타 관계자는 “HBM 시장이 커질수록 글라스 캐리어 웨이퍼의 품질이 반도체 수율을 좌우한다”며 “특허기술을 발판으로 유리 웨이퍼 재생·검사 분야의 경쟁력을 키우고 국내 반도체 소재·부품 생태계 발전에 기여하겠다”고 말했다. 뒤 다시 쓴다.